淨化等級一（yī）般分為100級、1000級、10000級、100000級，現在2010年版的GMP 淨化車間已經不用這（zhè）個叫法了，分為ABCD級別，分（fèn）別相對應於98版的幾個級別，通過檢測區域內的（de）塵埃粒子數、浮（fú）遊菌數、沉降均數評價（jià）淨化級別，各個級別（bié）有不同的要求，淨化等級分靜態、動態（tài）兩種。
(一（yī）)潔淨室之等級
世界（jiè）各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準209為多（duō），以下僅就209D及209E和世界上其它（tā）各國製定標準作介紹與相互比較。
209E與209D等最大之不同在於209E表（biǎo）示單位增加了公（gōng）製單位，潔淨室等級以‵M′字頭（tóu）表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類（lèi）推，配合國際公製單位之標準化，M字母後之阿拉伯數（shù）目字是以每立方（fāng）公尺中（zhōng）>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數（shù）為（wéi）之（zhī），若微塵粒子數介於前後二者完全冪（mì）次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。 潔淨網z:Wg1pj
美國聯邦標準FS 209D都以英製每立（lì）方英呎為單（dān）位，日本則是采用（yòng）公製，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數標準（zhǔn）。日本標準之表（biǎo）示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最（zuì）好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數（shù）中化為10的冪次（cì）方，取其指數（shù）而得。
(二)潔淨室之（zhī）定（dìng）義
潔淨室(Clean Room)，亦稱為無塵室或（huò）潔淨室。
「潔淨室」是指將一定空間範圍內（nèi）之空氣中（zhōng）的微粒（lì）子、有害空氣、細菌等之（zhī）汙染物排除，並（bìng）將室內之溫（wēn）度、潔淨度、室內（nèi）壓力、氣流速度與氣流分布、噪音（yīn）振動及（jí）照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房（fáng）間。亦即是不論外（wài）在（zài）之空氣條件如何變化，其室（shì）內均能俱有維持（chí）原先所設定要（yào）求之潔淨度、溫濕度及壓力（lì）等性能之特性。
潔淨室最主要之作用在於控（kòng）製產品(如矽芯片等)所接觸之大氣的潔淨（jìng）度日（rì）及溫濕度，使產品能在一個良好之（zhī）環境空間中生產、製造，此空間我（wǒ）們稱之為「潔淨室」。
(三)潔淨室控（kòng）管之項目
1. 能除去空（kōng）氣中（zhōng）飄遊之微塵（chén）粒子。
2. 能防止微塵粒（lì）子之產生。
3. 溫度和濕（shī）度之控製。
4. 壓（yā）力之調節。
5. 有害氣體之排除（chú）。
6. 結（jié）構物與隔間之氣密性。
7. 靜電之防製。
8. 電（diàn）磁幹擾預防。
9. 安全因素之考慮。
10. 節能之考量。
(四)潔淨室之分類（lèi）
1.亂流（liú）式(Turbulent Flow)：
空氣由（yóu）空調箱經風管與潔淨室內（nèi）之空氣過濾器(HEPA)進（jìn）入潔（jié）淨室，並由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線（xiàn）型運（yùn）動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔（jié）淨室等級1,000-100,000級。
優點（diǎn）：構造（zào）簡單、係統建造成本，潔（jié）淨室之擴充比較容易，在某些（xiē）特殊用途場所，可並用無塵工作台，提高潔淨室等級。
缺點：亂（luàn）流造成的微塵粒子於（yú）室內空間飄浮不易排出，易汙染製程產品。另外若（ruò）係統停（tíng）止運轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時相當長一段時間。
2.層流式(Laminar)：
層流式空氣氣流運（yùn）動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，並（bìng）由高架地板或兩側隔牆板回風，此型式適用於潔（jié）淨室等級（jí）需定較高之環（huán）境使用，一般其潔淨室等級為Class 1~100。其型式可（kě）分（fèn）為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自（zì）過（guò）濾器單方向吹出，由對邊牆壁之回風係統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側汙染較嚴重。
優點（diǎn）：構造簡單，運轉後短時（shí）間（jiān）內即可（kě）變成（chéng）穩（wěn）定。
缺點：建造費用（yòng）比亂流式高，室內（nèi）空間不易擴充。
(2)垂直（zhí）層流式：房間天花板完（wán）全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度，在製程中（zhōng）或工（gōng）作人員所
產生的塵埃可快速排出室外而不會影（yǐng）響其它工作區域。
優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為（wéi）作（zuò）業狀態或作業人員所影（yǐng）響。
缺點：構造費用較（jiào）高，彈性運（yùn）用空間（jiān）困難，天（tiān）花板之（zhī）吊架相當占空間（jiān），維修更換過濾器較麻煩。
3.複合式(Mixed Type)：
複合式為將亂流式（shì）及層流式予以複合或並用，可提供局部超潔淨之空氣。
(1)潔淨隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度（dù）等級提高至10級以上，可節（jiē）省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之（zhī）工作區與產品和機器維修予以隔（gé）離，以（yǐ）避免機器維修時影響了工作及品（pǐn）質，ULSI製程大都采用此種型式。
潔淨隧道另有（yǒu）二項（xiàng）優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易（yì）執行。
(2)潔淨管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍（wéi）並淨化處理，將潔淨度等級（jí）提至100級以上。因產品和作業員（yuán）及發塵環境相互隔離，少（shǎo）量之送（sòng）風即（jí）可得到（dào）良好之潔淨度，可節省能源，不需人（rén）工的自動化生（shēng）產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
(3)並裝局部潔淨室(Clean Spot)：將潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產品（pǐn）製程區的潔淨度等級提高為10~1000級（jí）以上，以為生產之用；潔淨工作台、潔淨工作棚（péng）、潔淨風櫃即（jí）屬此類（lèi）。
潔淨工作台：等級Class 1~100級。
潔淨工作棚：為在亂（luàn）流式之潔淨室空間內以防靜電之透明（míng）塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔淨（jìng）空間，其等級為10~1000級，高度在（zài）2.5米左右，覆蓋麵積（jī）約10m2以下，四支支柱並加（jiā）裝活（huó）動輪，可為（wéi）彈性運用
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