無塵（chén）室日常管理（lǐ）——操作須知

無塵室操作須知：

1.處理芯片時，必須戴上無纖維手套，使用清洗過的（de）幹淨（jìng）鑷子挾持芯片，請勿以手指或其它任何東西接觸芯片，遭（zāo）碰觸汙染過的芯（xīn）片須經（jīng）清洗，方得繼續使用：

(1)任何一支鑷子前端(即挾持芯片（piàn）端)如（rú）被（bèi）碰觸過，或是鑷子掉落地上，必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭髒鑷子。

(2)芯片清（qīng）洗後進行下一程序（xù）前，若被手指碰觸過，必須重新清洗。

(3)把芯（xīn）片放置於石英舟上，準備進（jìn）爐管時，若發現所用鑷子有汙損現象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的汙染，必須將芯片重新清洗，並立即更換幹淨的鑷子使用。

2.芯片必須放置盒中，蓋起來存放於規（guī）定位置，盡可能不讓它暴露。

3.避免在芯片（piàn）上談話，以防止唾液濺於芯片上，在芯片進擴散爐前（qián），請特別注意（yì），防止上述動作產生，若芯片上沾有纖維屑時，用氮氣槍噴（pēn）之。

4.從鐵弗龍(Teflon)晶（jīng）舟，石英舟(Quartz Boat)等載具（jù）(Carrier)上，取出芯片時，必須垂直向（xiàng）上挾起，避免刮傷芯片，顯微（wēi）鏡鏡頭確已離芯片，方可從吸座上移走芯片。

5.芯片上，若已長上氧化層，在送黃（huáng）光室前切勿用鑽石刀在芯（xīn）片上刻記。

6.操作時，不論是否戴上手（shǒu）套，手絕（jué）不能放進清洗水槽。

7.使用化學站或烤箱處（chù）理芯片時，務必將（jiāng）芯（xīn）片（piàn）置放於鐵弗龍晶舟內，不可使用塑料盒。

8.擺（bǎi）置芯片（piàn）於石英舟時，若芯片掉落地上或手中（zhōng）則必須重新清洗芯片，然後再（zài）進氧化爐。

9.請勿觸摸芯片盒（hé）內部，如被碰觸或有（yǒu）碎芯片汙染，必須重作清洗。

10. 手套，廢紙及其它雜碎東西，請勿留置於（yú）操作台，手（shǒu）套若燒焦（jiāo）、磨破或（huò）纖維質變多必須換新。

11.非經指示，絕不（bú）可開啟不熟悉的儀器及各種開（kāi）關閥控製鈕或把手。

12.奇怪的味道（dào）或反應異常的溶液，顏（yán）色，聲響等請即通知相關人員。

13.儀器因操作錯誤而有任何損壞時，務必立刻告知（zhī）負責人員或老師。

14.芯片（piàn）盒進（jìn）出（chū）無塵室（shì）須保持幹淨，並以保鮮膜封裝，違者不得進入。

15.無塵室內（nèi）一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄（lù），一般紙張與鉛筆不得攜入。

二、黃（huáng）光（guāng）區操作須知

1.濕度及溫度（dù）會（huì）影（yǐng）響對準工作，在黃光區應注意溫度及（jí）濕度，並應減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。

2.上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得（dé）攜出黃光區以免感光。

3.己上妥光阻（zǔ），而在等待對準曝光之芯片（piàn），應放置於不透明之藍黑色晶盒（hé）之內， 盒蓋必（bì）須蓋（gài）妥。

4.光罩使用時應持取邊緣，不得觸及光罩麵，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與（yǔ）他物（wù）接觸，以防刮傷，光罩之落塵可以氮氣（qì）槍吹之。

5.曝（pù）光時，應避免用眼睛直視曝光機汞燈。

三、鑷子操作須知

1.進入實驗（yàn）室後，應先戴上手套後，再取鑷子，以免沾汙。

2.唯有使用幹淨的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦（dàn）掉在（zài）地上或被（bèi）手觸碰，或因其它原因（yīn）而遭（zāo）汙（wū）染，必須拿去清洗，方可再使用。

3.鑷子使用後，應放於各站規定處（chù），不可任意放置，如有特（tè）殊製程用鑷子，使用後（hòu）應自行保管，不可（kě）和（hé）實驗（yàn）室內各站之鑷（niè）子混合使用（yòng）。

4.持鑷子應采"握筆式"姿勢挾取芯片。

5.挾（jiā）取芯片時，順序應由後向前挾取，放回芯片時，則由前向後放回，以（yǐ）免（miǎn）刮傷芯片表麵。

6.挾取芯（xīn）片時，"短邊" (鋸（jù）狀頭)置於（yú）芯片正麵（miàn），"長邊" (平頭)置於芯片（piàn）背麵，挾芯片空白部分，不可傷及芯片。

7.嚴禁將鑷子接觸酸槽或D.I Water水槽中。

8.鑷子僅可做為挾取芯（xīn）片用，不準做其它用途。

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