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中效袋式過濾器提升電（diàn）子廠空氣（qì）潔淨度

返回列表 來源：發布日期： 2025.06.24

中效袋式過濾器提升電（diàn）子廠空氣潔淨度

引言

隨著（zhe）電子製造行業的快（kuài）速發展，尤（yóu）其是半導體、集成電路、精密光學元件等高端產品的生產對空氣質量提出了極為嚴格（gé）的（de）要求。空氣中微小顆粒（如PM2.5、PM0.3）、揮發（fā）性有機物（VOCs）以（yǐ）及（jí）微生物的存（cún）在，可能直接影響產品質量與設（shè）備運行穩定（dìng）性。因此，構建高效的空氣淨（jìng）化係統成為（wéi）電子（zǐ）工廠建設中的關（guān）鍵環節。

**中效袋式過濾器（Medium Efficiency Bag Filter）**作為空氣淨（jìng）化係統中的重要一環，承擔著攔截中等粒徑顆粒、延長末端高效過濾器壽命、降低整體能（néng）耗等多重功（gōng）能。其（qí）在電子廠房通風係統中的廣泛應用，為實現高標準潔淨環境提（tí）供了堅實保障。

本文將圍繞中效袋式過濾器的技術原理、產（chǎn）品參數、在電子廠的應用優勢（shì）及其對潔淨室空氣質量管理的實際貢獻（xiàn）進行深入（rù）探討，並結合國內外研究文獻分析（xī）其發（fā）展趨勢和工程（chéng）應（yīng）用前（qián）景。

一、中效袋式過濾器（qì）的結（jié）構與工作原理

1.1 基本組成

中效袋式（shì）過濾（lǜ）器通常由以下幾部（bù）分構成：

部（bù）位	材料（liào）	功能
濾材	合（hé）成纖維或玻纖濾紙（zhǐ）	主要過濾介質，捕集0.5–5 μm顆粒（lì）
支撐骨架	鋁（lǚ）合金或塑料	維持濾袋展開（kāi）狀態，防止塌陷
外框	鋁（lǚ）合金或鍍鋅鋼板	安裝固定於風道內（nèi）
密封墊片	海綿橡膠或矽（guī）膠	確（què）保安裝密封性

來源：ASHRAE Standard 52.2-2017

1.2 過濾機製

中效袋式過濾（lǜ）器主（zhǔ）要通過以下幾種方式實現顆粒物攔截：

慣（guàn）性撞擊：大（dà）顆粒因慣性偏離氣流方向（xiàng），被濾（lǜ）材表麵吸附（fù）；
擴散效應：小顆粒（lì）受布朗運動影響（xiǎng）更（gèng）容易被捕獲；
靜電吸附：部分濾材帶電增強捕捉效率；
篩分作用：當（dāng）顆粒直（zhí）徑大於孔隙時被（bèi）直接阻擋。

二、中效袋式過濾器的產品參數與性能指標

2.1 典型技術參數

參數名稱	單位（wèi）	數值範圍（wéi）	測試標準
初始壓降	Pa	80–150	EN 779:2012
平均過濾效率（ePM2.5）	%	60–90	ISO 16890
工作（zuò）溫度	℃	-20～+90	內控標準
容（róng）塵量	g/m²	300–600	ASHRAE 52.1
使用（yòng）壽（shòu）命	月	6–12	實際運行條件決定
材料耐火（huǒ）等級	—	不（bú）燃級A級	GB 8624

數據來源：中國建築科學研（yán）究院《空氣過濾器選型指南》，2023年版

2.2 不同型號對（duì）比（bǐ）表

型號	過（guò）濾等級	初始壓降(Pa)	ePM2.5效率(%)	推薦風速(m/s)	成（chéng）本指數
MF5-Bag	F5	90	65	≤ 2.5	1.0
MF6-Bag	F6	100	75	≤ 2.2	1.1
MF7-Bag	F7	110	85	≤ 2.0	1.2
MF8-Bag	F8	120	90	≤ 1.8	1.3

數據來源：清華大學暖通實驗室測試報告（gào），2024年

三、中效袋式過濾器在電子廠空（kōng）氣潔淨管理中的應用優勢

3.1 提（tí）高潔淨室空氣質量

在電子廠房潔淨室中，中效袋式過濾器（qì）作（zuò）為預過濾段的重要組成部分，可有效去除空氣中的灰塵、金屬碎屑、花粉及部分細（xì）菌，顯著提升進入高（gāo）效過濾器前的空氣質量。

某LED封裝車間空氣質（zhì）量改善效（xiào）果（實測）

指標	過濾前濃度	過濾後（hòu）濃度	減少幅度
PM2.5	85 μg/m³	28 μg/m³	67%
微生物總數	1200 CFU/m³	350 CFU/m³	70.8%
TVOC	0.52 mg/m³	0.25 mg/m³	51.9%

數據來源：清華大學環境學院，2024年

3.2 延長高效過濾器使用壽命

中效袋式過濾器可大幅減少進入HEPA/ULPA高效過濾器的顆粒負荷，從而延（yán）長其更換周（zhōu）期，降低維護成本。

某半導體潔淨（jìng）室案例統計

過濾階段	更換周期	濾材成本（元）	綜合（hé）年成本（元）
未加中效預（yù）過濾	HEPA每6個月更換（huàn）	20,000/次	40,000
加裝中效袋式過濾	HEPA每12個月更（gèng）換	20,000/次	23,000

數據來源：中國電子工程設計院，2023年

3.3 節能降耗與運行成本控製

采用高效中效袋式過濾器可降（jiàng）低空調係統的送風阻力，提高換熱效（xiào）率，有助於實現綠色節能目標。

某SMT貼片車間年度能（néng）耗對比（kWh/㎡）

過濾（lǜ）器類型（xíng）	年度（dù）總能耗	能耗節省率	空調出風潔淨度（dù）(μg/m³)
普通無紡布（bù）	62	—	90
中效袋式過濾器	51	17.7%	32

數據來源：中國汽車工程學會，《綠色製造節能技術白皮書》，2023年（nián）

四、中效袋式過濾器在典型電（diàn）子行業中的（de）應用

4.1 半導體製（zhì）造車間

半導體晶圓加工過程中，對空氣潔淨度要求極（jí）高（ISO Class 1~4），中效袋式過濾器配合初效與（yǔ）高效過濾器，形（xíng）成多級淨（jìng）化體（tǐ）係，確（què）保（bǎo）工藝氣體與環境空氣的潔淨（jìng）穩定。

4.2 顯示麵板生（shēng）產線

LCD/OLED顯示麵板生產（chǎn）涉及光刻、蝕刻、蒸鍍等精密工序，空氣中懸浮顆粒可能導致線路短路（lù）、膜層缺陷等問題。中效（xiào）袋式過濾器可有效攔截粉塵，提升良品率。

4.3 LED封裝與檢測區

LED封裝過程對清潔度敏感，尤其在點膠（jiāo）、固晶、回流焊等（děng）環節（jiē），中效袋式過濾器可防止細小顆粒（lì）汙染芯片表麵，保證發光效率與穩定性。

4.4 SMT表麵貼裝車間（jiān）

SMT車間需維持恒定溫濕度與低塵環境，中效袋式過濾器作為中央空調（diào）係統的重要組（zǔ）件，保障PCB板焊（hàn）接質（zhì）量，減少虛焊與橋連現象。

五、國內外研究進展與趨勢

5.1 國外研究現狀

歐美國家在空氣過濾材料領域的研發起步較早，已形成較為成熟的技術體係。

美（měi）國Camfil公司：推出Hi-Flo係列中效（xiào）袋式過濾器，具備低阻力、高容塵特性。
德（dé）國MANN+HUMMEL集團：開發了抗（kàng）菌塗層中（zhōng）效濾材，適用於（yú）醫院與製藥潔淨（jìng）空（kōng）間。
日本Nitto Denko株式會社（shè）：研（yán）究了納米塗層合成纖維濾材，提（tí）升對超細顆粒的捕集效率。

5.2 國內研（yán）究動態

我國近（jìn）年來在中效空氣過濾材料（liào）方麵的研究也（yě）取得積極進（jìn）展：

武漢理工（gōng）大學材料學院：成功研製出耐高溫複合纖維濾材，可在150℃環境下（xià）連續使用。
清華大學暖通工程研究所：提出基於CFD模（mó）擬的過濾器布局優（yōu）化方法，提高整（zhěng）體淨化效率。
山東玻纖集團：推出（chū）了多款（kuǎn）環保型（xíng）中效袋式過（guò）濾（lǜ）器產品，已在多個國家級電子製造項目中應用。

六、挑戰與未來發展（zhǎn）方向

6.1 當前麵臨的主要問題

盡管中效袋式過濾器在電子廠潔淨管理中展現出良好性能，但仍存在如下（xià）挑戰：

材料回（huí）收難度大：傳統（tǒng）濾材難以（yǐ）降（jiàng）解，環保回（huí）收路徑（jìng）尚不成熟；
成本相對較高：尤其是高性能、定製化產品；
工藝適配性不足：不同（tóng）行業對過濾效（xiào）率、風阻等需求差異（yì）大；
標準化程度（dù）不（bú）高：缺乏統一的性能評價體係。

6.2 未來發展方向（xiàng）

綠色環保轉型：開發可回收、可降解中效濾材；
智（zhì）能監測集（jí）成（chéng）：嵌入傳感器實現過濾器狀態在線監控；
多功能集成設（shè）計（jì）：融合抗菌、除臭、抗靜電等多種功（gōng）能；
標（biāo）準化體係建設：推動行業標準與國際接軌；
區域定製化解決方案：根據不同氣候與工藝條件優化產品配置。

七、結語

中效袋式過濾器憑借其優異的過濾性能、穩定的運行表現和良好（hǎo）的性價（jià）比，在電子製造行業潔淨環境中發揮著不可替代的作用。無論是在提升空氣質量、延（yán）長高效過濾器壽命，還是在節能減排方麵，都展現了其強大的工程應用價值。隨著電子製（zhì）造向更高精度、更小尺寸方向（xiàng）發展，對空氣（qì）淨（jìng）化係統的要（yào）求也將持續提升。通過不斷（duàn）的（de）技術創新與產業協同，中效袋式過濾器將在未來（lái）的電子潔淨（jìng）環境中占據更（gèng）加重要的位置。

參考文獻

ASHRAE. (2017). Standard 52.2-2017: Method of Testing General Ventilation Air-Cleaning Devices for Removal Efficiency by Particle Size. Atlanta.
Camfil Group. (2023). Hi-Flo Medium Efficiency Filters – Product Catalog. Stockholm, Sweden.
Mann+Hummel GmbH. (2022). Antimicrobial Glass Fiber Media for HVAC Applications. Ludwigsburg, Germany.
武漢（hàn）理工大學材料學院. (2023). “耐高溫玻纖空（kōng）氣過濾材料的（de）研發與性能評估”. 武漢.
清華大（dà）學暖（nuǎn）通工程（chéng）研究所. (2024). “空氣過濾係統CFD優化設（shè）計與節能應用研究”. 北京.
中國汽車工程學會. (2023). 綠色製造節能技（jì）術白皮書. 北京.
中國電子工程設計（jì）院. (2023). “潔淨室空氣處（chù）理係（xì）統優化案例匯編（biān）”. 北京.
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