電子廠淨化車間的設計和設備介紹高效過濾器

電子廠淨化車間的設計和設備介紹

不同級別電子廠電（diàn）子廠淨化車間的半導體、微電子、光電技術、光（guāng）學儀器、PCB、食品、

模具等工程。按行業標準要求，淨化級別（bié）從 10-30 萬級。

一、淨（jìng）化車間 結構材料 ：

1.電子廠淨化車間牆、頂板材（cái）料一般采用 50mm 厚的夾芯彩鋼（gāng）板、淨化專（zhuān）用的氧化鋁型

材製造。門采用（yòng）淨化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。

2.地麵采用環氧（yǎng）自（zì）流（liú）平或高級耐磨塑料潔淨地板。

3.淨化通風管道選用鍍鋅薄鋼板製作，並采用（yòng）“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

1、工業廠房潔淨工程、電子廠（chǎng）房潔淨工程、化妝（zhuāng）品（pǐn）廠房淨（jìng）化工程、光（guāng）纖（xiān）通訊廠房潔淨工程、

絲印廠房潔淨（jìng）工程、網（wǎng）印廠房潔淨工程；

2、GMP 廠房淨化工程、藥廠潔淨工程、食品廠潔淨（jìng）工程、飲用水（shuǐ）廠（chǎng）罐裝車間潔淨工程； 3、

實驗室工程（chéng）、無菌實驗室、生物實驗室、實驗室淨化工程整體規劃設計和施工； 4、承攬中

央空調（diào）、淨化領域工程設備的安裝、調試及維修、保養； 5、廠房、車間、實驗室空調潔淨

工程、無塵室工程、無塵室改造工程； 6、工業廠房（fáng）內部隔（gé）牆工程、吊頂工程（chéng）、地麵（miàn）工程、

其他零散工程等。

單（dān）向（xiàng）流電子廠電子廠淨化車間（1-100 級）

1-100 級的電子（zǐ）廠淨化車間，均采用單向流（liú）的氣流組織送風（fēng）方式，即電子廠電子廠淨（jìng）化車間

內的氣流在同一截麵的任意一點，氣流的方向和速度均保持一致，這（zhè）樣可以使

清潔空氣象“活塞”一樣，將室內的塵埃粒子以最快的速度帶走。

要實現“活塞（sāi）”的效果，高效過濾器（qì）需要布滿（mǎn）屋頂才可實現單向（xiàng）流的氣流組織方式。

非單向流電子廠（chǎng）淨化（huà）車間（1000-10 萬級（jí））

1000-10 萬級電子廠淨化（huà）車間的氣流組織方向和 100 級以上的電子廠電子廠淨化（huà）車間不（bú）同，

室內的氣流是以不均（jun1）勻的速度呈不平行流動的，伴有（yǒu）回流或渦流，它主要靠（kào）潔淨的氣流不斷

稀（xī）釋室內空氣，將室內的汙染逐漸排出，來實現淨化。不同的淨化（huà）等級，主要是依靠單位（wèi）時

間內所送風量（liàng）的不同來實現的。

1.淨（jìng）化廠房牆、頂板材一般多采用 50mm 厚的夾芯彩鋼板製造，其特點為美觀、剛性強。圓

弧牆（qiáng）角、門、窗框等一（yī）般（bān）采用專用氧化鋁型材製造 。

2.地麵可采用環氧自流坪地坪或高級（jí）耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防（fáng）靜電型。

3.送回風（fēng）管道（dào）用（yòng）熱渡（dù）鋅板製成，貼淨化保溫效果好的阻燃型 PF 發泡塑膠板。

4.高效送風口用不鏽鋼框架，美觀清潔，衝孔網板用烤漆鋁板，不生鏽不粘塵（chén），宜清潔

二、 設計施工（gōng）安裝準備有哪些（xiē）？

1. 收集與生產工藝相關（guān）的數據和資料

室內溫濕度的（de）基數和精度，需要（yào）與工藝設計人員反複確（què）定並定下（xià）合理的參數（shù），不要一味追求

高標準，因為（wéi）基數和精（jīng）度對投資和運行（háng）費用有（yǒu）極大（dà）的影響，但滿足工藝（yì）的基本要求是必要

的。

2. 收集工程所在地的氣象資料（liào）和周圍（wéi）環境的資料

(1)室外設計參數除一年四季的氣象資料外，還需要收集當地的環（huán）境，如：含塵濃度和會影

響（xiǎng）產品和生產工藝的各種氣體的濃度。

(2)工（gōng）程周圍鐵路、碼頭、飛機（jī）場等交通樞（shū）紐和交通要（yào）道的距離。工程周圍的工廠。倉庫。

堆場，最好遠離（lí）這些場所，如無法遠（yuǎn）離（lí），要采取相應的措施，如（rú）：新風入口加裝過濾器級別

根據測得的數據來定，還要考慮是否有必要加裝化學過濾器。

(3)收（shōu）集生產過程中會產生的廢（fèi）熱和有毒有害的廢氣的相關資料

a. 確定廢熱氣體的溫度和排風的量

b.有（yǒu）毒有害氣體的（de）濃度、溫度和危害程（chéng）度及排（pái）風的風量，並（bìng）要考慮處理的對策。

(4)收集生產工藝對電、水和特（tè）種氣（qì）體、大宗氣體的要求

(5)收集工程建築、結構和工藝設計的平剖麵圖

a. 工藝設計，電（diàn）子廠（chǎng）淨化車間裝修用於的工藝種類繁多（duō），但是，總的原（yuán）則是生產工藝設備

的安裝和維修，生產工藝的流程（chéng），操作程序，人員流（liú）動路線和物料傳輸布置時，應避免發生

氣流幹（gàn）擾和交叉汙染的發生。

b.在滿足生產工藝和微震的控製，噪聲控製等要求的前提下，空氣潔淨度（dù）要求（qiú）高的電子廠電

子廠淨化車間裝修(區)宜（yí）靠近空調機房布置，空氣潔淨度等級相同的工序或工作(區)宜集（jí）中

布置。

c.應根據工藝設計要求設置運輸、安裝、維修（xiū）的通道或檢修門。

d.人員出入電子廠淨（jìng）化車間裝修應該設置（zhì）人員淨（jìng）化裝置。

純臻淨化工程（chéng）

e.物料（liào），設備（bèi）出入電子廠淨化車間裝修要設置淨化設施，設置氣閘室或傳遞窗。

f.潔淨區域內設置（zhì）真空（kōng）泵時，應有除油裝置，尾氣排放（fàng）應接至室外，傳輸有可（kě）燃氣體的係統，

其濃度（dù）超過爆（bào）炸下限 20%時應有尾氣處理裝置，應去除（chú）或（huò）稀釋可（kě）燃氣體的成份，傳輸易燃自

燃化（huà）學品（pǐn）或高濃度氧氣時，應采用不燃的泵油，並配置氮氣吹掃控製閥，並且與工藝

設備（bèi）的操作係（xì）統聯（lián）鎖。

三、 一般 電（diàn）子廠 電子（zǐ）廠淨化車間基本工作原理及淨化參數

淨化原理 氣（qì）流→初效（xiào）空氣處（chù）理→空調（diào）→中效空氣處理→風機送風→淨化（huà）管道→高效送風口

→電子廠電子廠淨（jìng）化車間→帶走塵埃（細菌） → 回風夾道→新風、初效（xiào）空氣處理。重複以

上過程，即可（kě）達到淨化目的。技術參數換氣次數：十萬級 10－15 次（cì）/小時（shí）；萬級 15－25 次/

小時；千級 50－52 次/小時（shí）;百級操作台斷（duàn）麵風（fēng）速 0.25-0.35m/s。

淨化參數

換氣次數：100000 級≥15 次；10000 級≥20 次；1000≥30 次。

壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速：10 級（jí）、100 級（jí） 0.3－0.5m/s；

溫度 冬（dōng）季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。

溫度 45－65％；GMP 粉劑車間濕度在 50％左右（yòu）為宜（yí）；電子（zǐ）車間濕度略高以免（miǎn）產生靜電。

噪（zào）聲（shēng）≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的 10％－30％；照度 300LX

壓差（chà）：主車間對相鄰房間≥5Pa。

溫度（dù）:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；

相對濕度：45－65％（RH）；噪聲≤65dB（A）；新風補充量：總（zǒng）送風量（liàng）的 20％－30％；

照度：≥300Lux。

電子廠淨化車間目（mù） 裝修施工項（xiàng）目  ：

1、隔牆板：包括窗戶、門,材料是彩鋼板，但彩鋼板的夾芯有很多種。

2、天花吊頂：包括吊杆、綱梁、天花板格子梁，材料一般是：彩鋼板與無塵板。

3、照明器具：采用無塵專用燈具。

4、電子廠淨化車間製作主要包括天花吊頂（dǐng）、空調係統、隔斷、地麵、以及照明燈具。

純臻淨化工程

5、地板：高架地（dì）板或防靜電 PVC 地板或（huò）環氧樹脂地板。

6、空調係統：包括主機、風（fēng）管、過濾器係統、FFU 等。

四 、 電子廠淨化（huà）車間 結構設計概況與淨化要求

電子廠淨化車間是生產 VCD 和 DVD 電子（zǐ）元件的關鍵部分,在建築（zhù）平麵上被安排在廠房的

中間(如圖 1)。廠房為鋼結構,生產（chǎn）車間為（wéi）單層建築,辦公部分為兩層建築,電子廠淨化車間（jiān）

的吊頂高度為 3.3m,層高為 811m。電（diàn）子廠淨化車間吊頂與屋麵（miàn）之間,敷設送風管、回風管、

排風管等多種（zhǒng）工藝管道和高效過濾器（qì）,吊頂由內夾聚氨脂塑（sù）料泡沫層的夾心（xīn）彩鋼板（bǎn）組裝而成,

上人吊頂與牆麵之間的縫隙用密封膠填（tián）密,地麵到吊頂（dǐng）采用埃特板構（gòu）成回風井道,並和回風

管連接。第 1、第 2 車（chē）間麵積各為 2160m2 工作人員各為 400 人,第 3 車間麵（miàn）積 1080m2,200

人;各車間,檢測室（shì）,衛生（shēng）室（shì）和吹淋通道的溫度要求為 23℃±2℃,濕度 60%±10%,室內正壓大

於 10Pa,吹淋通道淨化級別為 100 級,其餘為 10 萬級。

淨化空調係（xì）統的設計：

該廠的電子廠淨化車間,最大單間麵積 2160m2,空間大,風量大,相鄰空（kōng）調機房的噪聲處理困

難以及吊頂內的管線多（duō）,為此淨化空調分設三個獨立的（de）係統。

每個淨化係統均設初效、中效、高效過濾器。初效過濾器安裝（zhuāng）在新風管上,中（zhōng）效過濾（lǜ）器安裝

在空調櫃內,高效（xiào）過濾器（qì）安裝在吊（diào）頂上 G———室內發塵量,粒/(m3 ・min) M———大氣（qì）含塵

濃度,粒/Ln———換氣次數,次/hS———回風量和全風量的比ηn———新風通路上過濾器

總效率ηr———回風通路上過濾器總效率（lǜ）電子（zǐ）廠電子廠淨化車間新風量的確定,主（zhǔ）要從三

個方麵考慮;第一、室（shì）內工作人員所需的新風量,每人按 40m3/h 考慮。第二、車間內的排氣

量。第三、保持正壓時的門窗縫隙（xì）的漏風（fēng）量。本工程選擇新風量占全風量的 12%至 15%。正

壓（yā）采用餘壓閥控製。各車間的送風（fēng）、排風、新風的（de）參數。

空氣處理（lǐ）：

為了滿足各車（chē）間的潔淨要求,設計（jì）中把電子（zǐ）廠淨化車間分成三個係統;第一、第二車間各設一

個係統,第三車（chē）間、實驗室、檢測室（shì）、衛生室（shì）為一個係統。空氣處理機（jī）由回風段、致冷（lěng）段、

加熱段、加濕段、混合段、風機段、中效段、送風段組成

消聲（shēng）處理（lǐ）：

在空調設計中噪聲是一個很重要的問題,對於大麵積的電子廠淨化車間,它的送（sòng）風（fēng）量比一般

的空調係統要大（dà）得（dé）多,且送風的風壓也高（gāo）達 116kPa,因此通風機的電機（jī）容量也比較大,達

90kPa,通風機的聲功級（jí）為 115dB。消聲技（jì）術在本工程中尤為突出。通過（guò）減噪計算,配置相應

的消聲器和消聲小室,可達到規範所要求的室內噪聲標準。工程（chéng）實踐證明,淨化工程的消聲處

理不一定要用價格（gé）昂貴的微穿孔板消聲器;在設計中計算出各倍頻中心頻率的噪聲量後,針

對其超標的頻率噪聲（shēng）,采用（yòng）廉價的不鏽鋼板網和中效無紡布、多孔材料製作出消聲器,同（tóng）樣能（néng）

達到消聲的目（mù）的,節約工程投（tóu）資。另外（wài）,高（gāo）效過濾器和中效（xiào）過濾器本身也是一（yī）種很好的消聲器,

在（zài）設計（jì）計算中應考慮它們的（de）消聲量。

五、電子廠淨化車間的地麵通常采用哪（nǎ）些材（cái）料

電子廠淨化車間地麵通常用 PVC 防（fáng）靜電地板、環氧樹（shù）脂（zhī）地坪漆比較多。電子廠（chǎng）淨化車間地麵（miàn）

常用材料：

01 工程（chéng）名稱:PVC 地板

產品（pǐn）特點:

1、耐磨（mó）、耐腐蝕，性能穩定

2、裝飾效果好，施工方便

3, 基材為半硬質（zhì）的 PVC 塑料

4、不產生火花和阻燃

施工工藝（yì）:

1,清理地麵，清除浮沉，定位鋪設基準線

2、鋪拉接地倒網(銅箔)，塗刷導電膠

純臻淨化工程

3. 鋪貼 PVC 地板，滾壓 PVC 地板（bǎn）

4、開 4mm 靜電接地

適用場所:電子廠，半導體廠，光電產業，包裝品，機電房.汽車工（gōng）業等

02 防靜電 PVC 地板

產品特點:

直鋪式 PVC 防（fáng）靜電地板十分柔韌，結構均一，由表麵塗有特殊導電液體 的（de）彩 色聚氯（lǜ） 乙烯（xī）

PVC 片組成，並經過靜態壓擠製成堅（jiān）實的 PVC 塊永久導電，表麵低靜電壓，不吸附（fù）塵埃，規

格統一，圖（tú）案精美，顏色持久。

施工工藝:

1、基麵（miàn）處理。

2、漫刮自流平水泥找平。

3、塗刷導電底膠口

4、鋪設銅箔。

5、貼 PVC 板。

7、焊接口

8、表麵清潔口

適用場所（suǒ）:適用於電信、電子電力、微（wēi）電子、醫學等行業的程控機房、計（jì）算機房、電

力調度室、電子廠淨化車間等要（yào）求淨化及防靜電的場所（suǒ）。

03 工程名稱:高架地板

產品特點:

1、具有係統防靜（jìng）電能力

2、優質的防火.防潮性（xìng）能

3、承（chéng）載力

4、抗汙（wū）性佳

施工工藝:

1、在清（qīng）潔的地麵上劃線

2、支架橫梁裝配

3, 調整橫梁（liáng）水平、緊固螺釘

4, 鋪設活（huó）動地板（bǎn）

5. 施工完畢（bì）後清掃地（dì）板表麵

適用場所:電子廠，半導體廠，光電產業，機（jī）電（diàn）房.恒溫恒室實驗室（shì），百級電子廠電子廠（chǎng）淨化

車間等

04 工（gōng）程名（míng）稱:環（huán）氧樹（shù）脂自流平型地流

產品特點:

1、耐磨、防滑、防菌、防（fáng）黴

2, 耐溶劑、耐（nài）酸堿性（xìng）好

3、性能好、杭展性強（qiáng）

4、無縫、平滑美觀甲易清洗（xǐ）保養

施工工藝（yì）:

1、打磨（mó）地麵.清掃、吸塵

2、塗刷封閉底塗

3、刮膩（nì）子(中塗)

4、打磨、吸塵

5、自流平麵

適（shì）用場所:電（diàn）子廠，電器廠，食品廠，，化妝品廠（chǎng），包裝廠，紡（fǎng）織廠，服裝廠等

昆（kūn）山昌瑞空調淨化技術有限公司，專注從事空氣過濾器係列（liè）產品（初/中/高效、化學過（guò）濾器等）、潔淨室淨（jìng）化設備（拋棄式/可更換（huàn）式/自動卷繞式過濾器、高效送風口、FFU高效過濾器淨化機組）的研發、生產、銷售和（hé）售後。