淨化係統末級(jí)過濾器一般采用高效過濾器或(huò)亞高效過濾器。按(àn)我國標準[1]規定高效過濾器效率分(fèn)四檔:A類為≥99.9%,B類為≥99.99%,C類為≥99.999%,D類(lèi)為(對(duì)≥0.1μ m粒子)≥99.999%(亦稱超高效(xiào)過濾器);亞(yà)高效過濾器[2]為(對≥0.5μm粒子)95~99.9%。效率越高(gāo),過濾器的(de)價格也越貴。所以選擇過濾器(qì)時應本著既要滿(mǎn)足送風潔淨(jìng)度要求,又要考慮經濟合(hé)理。從潔淨度要求考慮,以低(dī)級別潔淨室選用低性能過濾器、高級別潔淨室選用高(gāo)性能過濾器為原則。一般說(shuō)來:100萬級可選用高中效過濾器;低於(yú)1萬級(jí)可選用亞(yà)高效或A類 高效過濾器;1萬~100級(jí)選用B類過濾器;100~1級選用C類過濾(lǜ)器。
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